| 发明名称 |
Apparat zur Projektionsbelichtung und Verfahren zur Herstellung einer Mikrovorrichtung unter Verwendung desselben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69603217(T2) |
申请公布日期 |
1999.12.09 |
| 申请号 |
DE19966003217T |
申请日期 |
1996.04.10 |
| 申请人 |
CANON K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
MORI, TETSUYA;KOSUGI, MASAO |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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