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摘要
申请公布号
DE69326920(D1)
申请公布日期
1999.12.09
申请号
DE19936026920
申请日期
1993.01.28
申请人
ORBOTECH LTD., YAVNE;ORBOTECH INC., BILLERICA
发明人
SMILANSKY, ZEEV;NISSIM, MOSHE;HAREL, EYAL
分类号
G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;G06K9/64;G06T1/00;G06T3/00;H04N7/18;H05K3/00;(IPC1-7):G01N21/88
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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