发明名称 |
Method and device for generating plasma |
摘要 |
<p>Verfahren zur Erzeugung von Plasma mit schwankender Leistung, bei dem ein Lichtbogen zwischen einer Anode und einer Kathode gezündet und mit diesem Dämpfe oder Gase ionisiert werden. Um Plasma für eine Vielzahl von Anwendungsfällen einsetzen zu können, ist vorgesehen, daß der Lichtbogen mit Spannungsimpulsen betrieben wird, wobei in den Pausen zwischen diesen Spannungsimpulsen die an der Strecke Anode-Kathode anliegende Spannung unter die Brennspannung des Lichtbogens abgesenkt wird, sodaß der Lichtbogen in diesen Pausen erlischt. <IMAGE></p> |
申请公布号 |
EP0963140(A2) |
申请公布日期 |
1999.12.08 |
申请号 |
EP19990890141 |
申请日期 |
1999.04.30 |
申请人 |
INOCON TECHNOLOGIE GESELLSCHAFT M.B.H |
发明人 |
SCHWANKHART, GERHARD, DIPL.-ING. |
分类号 |
H05H1/36;(IPC1-7):H05H1/36 |
主分类号 |
H05H1/36 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|