发明名称 CORRECTION DEVICE FOR CORRECTING CHROMATIC ABERRATION IN PARTICLE-OPTICAL APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0962025(A1) 申请公布日期 1999.12.08
申请号 EP19980947712 申请日期 1998.10.22
申请人 PHILIPS ELECTRON OPTICS B.V. 发明人 TIEMEIJER, PETER, CHRISTIAAN
分类号 H01J37/153;(IPC1-7):H01J37/153 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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