谐振器结构

摘要

无线电通讯装置的谐振器结构。将至少一个谐振器元件和至少一个开关元件在同一处理过程期间集成在同一基片中。这在采用桥式BAW谐振器和微型机械开关的时候是特别有利的。将开关结构和谐振器集成在同一基片上，能够制造出非常紧凑、为多系统移动通信装置所需的滤波器和谐振器结构。另一方面，利用BAW谐振器的特殊性能，即BAW谐振器可以集成在基片，比如硅和砷化镓的表面上。这些开关可以用MESFET晶体管实现。

主权项

1．谐振器结构，包括具有在一基片上的至少一个谐振器，所述谐振器是至少经过在基片上淀积多层并加以构图而制备的，其特征在于所述谐振器结构包括通过至少在该基片上淀积多层并加以构图而制备的至少一个开关元件。