亚微米光刻机的调焦装置

摘要

亚微米光刻机调焦装置，属于光刻机自动调焦和光学探测技术领域。其特征为：标记的成像光经被刻物体、小物镜、反射镜，由分光镜分为两种，一路反射成像于四象限接收器，另一路透射经柱面镜成像于CCD图象传感器，两路输出离焦信号和目标偏置量送入单片机，控制压电陶瓷推动柔性铰链，带动被刻物体作大位移或微位移移动，达到目标焦面位置。具有调焦惯量小，速度快，范围大，精度高(优于0.1微米)，可编程的特点。

主权项

1、亚微米光刻机的调焦装置，照明光从光纤(6)射出，经聚光透镜(7)、标记(8)、反射镜(9)和小物镜(10)成像于被刻物体(1)上，光线经被刻物体(1)、小物镜(12)、反射镜(13)后，由四象限接收器(15)接收，其输出的离焦信号经信号放大处理(18)和A/D转换器(19)送入单片机(20)，由光刻机控制驱动工作台(5)与承片台(2)之间的调焦执行机构动作，调整承片台(2)上的被刻物体(1)处于主机物镜(11)要求的目标焦面位置，其特征在于：标记(8)的成像光经被刻物体(1)、小物镜(12)、反射镜(13)，再由分光镜(14)分为两路，一路反射光束成像于四象限接收器(15)上，另一路透射光束成像于CCD图象传感器(17)上，两路输出离焦信号经信号处理后都送入单片机(20)，根据需要加入的目标偏置量，由主计算机(24)和单片机(20)自动控制压电陶瓷(4)分别作大位移或微位移移动，从而推动柔性铰链(3)两臂绕下端转动，带动被刻物体(1)作上下平动，达到主机物镜(11)要求的目标焦面精确位置。