弹性体微机电系统

摘要

一种机电转换器，它具有一载有多个弹性体微结构（５）的衬底（４），在每个微结构上有一微电极（６）。将一电源（１１）电气连接到微电极上，用于控制将一电势施加到微电极上，该电势交替地在相邻对的微电极间诱发吸引力，从而使微电极产生受控的、时变位移。作为替代方案，进一步的多个微电极（１４）、或者一个或多个宏电极（３２）被弹性地支承高出微电极之上，电源则被连接到宏电极上，其方式使施加于微电极和宏电极之间的电势交替地在微电极和宏电极之间诱发吸引力，从而使微电极相对于宏电极进行受控的、时变位移。宏电极也可被施加到衬底与微结构相对的一侧。

主权项

1．一种机电转换器，其特征为：(a)一个第一衬底(4)，在上述衬底的一侧载有多个第一弹性体微结构(5)；(b)在上述多个第一弹性体微结构的每一个上的一第一微电极(6)；(c)用于对上述微电极施加电势进行控制的、与上述微电极电气连接的电源装置(11)；(d)载有多个第二弹性体微结构(16)的一第二衬底(12)，上述第二衬底邻接于且面对着上述第一衬底，上述多个第二弹性体微电极与上述第一衬底相接触；以及，(e)位于上述第二衬底之上的多个第二微电极(14)；其中：上述电源装置被进一步电气连接到上述第二微电极，用于控制将上述电势施加到上述第二微电极以便在上述多个第一和第二微电极间交替地诱发吸引力，从而使上述多个第一和第二微电极产生受控的、时变位移。