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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11335830(A) 申请公布日期 1999.12.07
申请号 JP19980146346 申请日期 1998.05.27
申请人 NEC CORP 发明人 MIHARA AKIHIRO
分类号 G02F1/13;C23C14/35;C23C14/54;G02F1/1345;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/35;G02F1/134 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
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