| 发明名称 |
SUBSTRATE WITH TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM AND DEPOSITION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11335815(A) |
申请公布日期 |
1999.12.07 |
| 申请号 |
JP19980137968 |
申请日期 |
1998.05.20 |
| 申请人 |
NIPPON SHEET GLASS CO LTD |
发明人 |
TOYOSHIMA TAKAYUKI;WADA SHUNJI;OGINO ETSUO |
| 分类号 |
G02F1/1343;C23C14/08;C23C16/50;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/08;G02F1/134 |
主分类号 |
G02F1/1343 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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