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发明名称 Vorrichtung zum Herstellen von rohrförmigen Körpern aus Halbleitermaterial, vorzugsweise aus Silicium oder Germanium
摘要
申请公布号 CH528301(A) 申请公布日期 1972.09.30
申请号 CH19710012071 申请日期 1971.08.17
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DIETZE,WOLFGANG,DR.;REUSCHEL,KONRAD,DR.;SANDMANN,HERBERT,DR.
分类号 C23C16/44;C23C16/01;C23C16/22;C30B25/00;C30B25/02;C30B29/08;C30B29/60;C30B35/00;H01L21/22;(IPC1-7):B01J17/32 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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