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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN EINER HALBLEITERANORDNUNG AUS SILIZIUMKARBID
摘要
申请公布号 DE69601981(T2) 申请公布日期 1999.12.02
申请号 DE1996601981T 申请日期 1996.01.17
申请人 ABB RESEARCH LTD., ZUERICH 发明人 HERMANSSON, WILLY;RAMBERG, LENNART;SIGURD, DAG
分类号 H01L29/73;H01L21/04;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/76;H01L29/12;H01L29/16;H01L29/24;H01L29/74;H01L29/78;H01L29/861;(IPC1-7):H01L21/266 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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