| 摘要 |
<p>L'invention concerne un fluide de lavage qui est utilisé pour retirer un dépôt de produit secondaire provenant de produits de la décomposition d'un gaz de traitement, à base de carbone et de fluor, d'un composant d'un appareil de traitement de semi-conducteurs. Ce détergent comprend 75 % en poids de N-méthyl-2-pyrrolidone, 15 % en poids d'éthylène glycole monobutyle éther, 0,5 % en poids de tensio-actif, et 9,5 % en poids d'eau. Il est régulé de manière à présenter une teneur en métal alcalin inférieure à 10 parties par milliard.</p> |
