发明名称 FEINEINSTELLUNGSAPPARAT MIT ATOMARER AUFLÖSUNG
摘要
申请公布号 DE69417772(T2) 申请公布日期 1999.12.02
申请号 DE1994617772T 申请日期 1994.08.27
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 BINNIG, GERD;HAEBERLE, WALTER;ROHRER, HEINRICH;SMITH, DOUGLAS
分类号 G01B7/34;G01B21/30;G01Q10/04;G05D3/00;G11B5/55;G11B9/00;G11B21/02;H02K33/18;H02K41/035;(IPC1-7):G01B7/34;G01N27/00;H02K57/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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