Verfahren zur Herstellung eines Einkristalls

摘要

Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung eines Einkristalls aus Silicium, der nach der Czochralski-Methode gezogen und dabei mit Sauerstoff und Stickstoff dotiert wird. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß der Einkristall mit Sauerstoff einer Konzentration von kleiner als 6,5·*·10·17· atcm·-3· und mit Stickstoff einer Konzentration von größer als 5·*·10·13· atcm·-3· während des Ziehens des Einkristalls dotiert wird. Gegenstand der Erfindung ist darüber hinaus ein Verfahren zur Herstellung eines Einkristalls aus einer Silicium-Schmelze, das dadurch gekennzeichnet ist, daß der Einkristall mit Stickstoff dotiert wird und der Einkristall mit einer Geschwindigkeit V gezogen wird, wobei ein axialer Temperaturgradient G(r) an der Phasengrenze von Einkristall und Schmelze eingestellt wird, bei dem der Quotient V/G(r) in radialer Richtung wenigstens teilweise kleiner als DOLLAR A 1,3·*·10·-3· cm·2·min·-1· K·-1· ist.