| 主权项 |
1.一种水平式低压反应炉,包括:一炉管,该炉管之一端系与抽气帮浦相连接,其另一端系为管口,其外侧设有一光学感应器,且该支撑底座设有一插销,当炉门与炉管结合时该插销系位于光学感应器之中,使光学感应器产生感应并启动抽气帮浦;一炉门,该炉门之内侧设有一晶舟,其外侧中间设有一万向接头,该万向接头包括第一端、接头部以及第二端,其中第一端系固接于炉门外侧中间;一轴承结构,该轴承结构具有一滚珠轴承,上述万向接头之接头部系套于该滚珠轴承之中,又在第一端外围套有第一弹簧其位置系在于轴承结构和炉门之间;以及一支撑底座,该支撑底座系与炉门底座相连接,其上方设有一施力杆,该施力杆系连接于轴承结构之外侧下方,且该轴承结构下方与炉门之间设有第二弹簧。2.如申请专利范围第1项所述之水平式低压反应炉,其中该炉管之管口设有第一圆形护环,该炉门之内侧设有第二圆形护环,且第一和第二圆形护环系相互对应。3.如申请专利范围第1项所述之水平式低压反应炉,其中该万向接头之第二端系凸出于轴承结构之外侧,且其端部设有凸缘以避免万向接头与轴承结构分离。4.如申请专利范围第1项所述之水平式低压反应炉,其中该炉门内侧之晶舟上设有复数个插槽,晶圆系放置于插槽中以进行低压化学气相沉积制程。图式简单说明:第一图系习知技术之水平式低压反应炉之分解图。第二图系习知技术之水平式低压反应炉之剖面图。第三图系本创作之水平式低压反应炉之分解图。第三图A系本创作之轴承结构之剖面图。第四图系本创作之水平式低压反应炉之剖面图。 |
