| 主权项 |
1.一种电极配线材料,其特征为:至少选择Mo与W其中 一种为主成分,包含有0.0003原子%-5原子%之Ar,0.0003 原子%-3原子%之Kr及0.0003原子%-3原子%之Xe所构成群 中选择之添加元素。2.一种电极配线材料,其特征 为:将W当成主成分并且至少选择W与Mo及Cr其中一种 为主成分,包含有0.0003原子%-5原子%之Ar,0.0003原子%- 3原子%之Kr及0.0003原子%-3原子%之Xe所构成群中选择 之添加元素。3.如申请专利范围第1或2项之电极配 线材料,其中前述之主成分中添加有Ti。4.如申请 专利范围第1或2项之电极配线材料,其中前述Kr之 含有量为0.0003原子%-1原子%。5.如申请专利范围第1 或2项之电极配线材料,其中前述Kr之含有量为0.0003 原子%-0.5原子%。6.如申请专利范围第1或2项之电极 配线材料,其中前述W或Mo之含有量为10原子%-95原子 %。7.一种电极配线板,系属于在玻璃板上形成有电 极配线之电极配线板,其特征为:电极配线至少选 择Mo与W其中一种金属所构成,对于前述电极配线材 料中之巨块状态的格子常数之前述材料格子常数 的比例为3%以内。8.如申请专利范围第7项之电极 配线板,对于前述材料之巨块状态的格子常数之前 述电极配线之材料的格子常数的比例为1%以内。9 .一种电极配线板,系属于在玻璃板上形成有电极 配线之电极配线板,其特征为:电极配线至少选择W 或W与Mo及Cr其中一种所构成,对于前述电极配线材 料中之块状状态的格子常数之前述材料之格子常 数的比例为3%以内。10.如申请专利范围第9项之电 极配线板,对于前述材料之巨块状态的格子常数之 前述电极配线之材料的格子常数的比例为1%以内 。11.如申请专利范围第7或9项之电极配线板,其中 前述之金属内添加有Ti。12.如申请专利范围第7或9 项之电极配线板,其中前述W或Mo之含有量为10原子% -95原子%。13.如申请专利范围第7或9项之电极配线 板,其中前述电极配线系由真空测射法所形成的。 图式简单说明: 第一图系表示应力,电阻率及膜剥离率与膜中Ar含 有量之关系特性图。 第二图系表示应力,电阻率及膜剥离率与膜中Ar含 有量之关系特性图。 第三图系表示电阻率与Mo之含有量的关系特性图 。 第四图系表示根据X线测定之格子常数与Mo含有量 的关系特性图。 第五图系表示电阻率与成膜能之关系特性图。 第六图系表示电阻率与气压之关系特性图。 第七图系表示电阻率与成膜能之关系特性图。 第八图系表示电阻率与气压之关系特性图。 第九图系沿第十图之IX-IX线之断面图。 第十图系表示使用本发明之电极配线材料之液晶 表示装置之驱动回路板之平面图。 第十一图系表示MoW合金之蚀刻率与W含有率之关系 特性图。 第十二图系表示MoTi合金之蚀刻率与W含有率之关 系特性图。 第十三图系表示使用本发明之电极配线材料之液 晶表示装置之液晶驱动回路板之其它例子之断面 图。 第十四图系表示使用本发明之电极配线材料之液 晶表示装置之液晶驱动回路板之其它例子之断面 图。 第十五图系表示使用本发明之电极配线材料之半 导体装置的回路板之断面图。 |
