发明名称 ULTRASONIC VIBRATION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100231830(B1) 申请公布日期 1999.12.01
申请号 KR19970010372 申请日期 1997.03.25
申请人 SAMSUNG TECHWIN CO.,LTD. 发明人 KIM, JIN-KYU
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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