发明名称 METHOD FOR REMOVING LIQUID ON SUBSTRATE SURFACE
摘要
申请公布号 KR100231952(B1) 申请公布日期 1999.12.01
申请号 KR19910003094 申请日期 1991.02.26
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 ADRIAN, FRANCISCUS MARIA;JOHANNA, ANTOONITTE MARIA HUETHORST;JOHANNES, MARRA
分类号 F26B5/08;F26B21/14;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 F26B5/08
代理机构 代理人
主权项
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