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发明名称 Process for purifying halogen-containing gas
摘要
申请公布号 EP0705639(B1) 申请公布日期 1999.12.01
申请号 EP19950113895 申请日期 1995.09.05
申请人 JAPAN PIONICS CO., LTD. 发明人 OTSUKA, KENJI;FUKUDA, HIDEKI;ARAKAWA, SATOSHI
分类号 B01D53/04;B01D53/28;B01D53/46;B01D53/68;C01B7/07;C01B7/09;C01B7/19;(IPC1-7):B01D53/68 主分类号 B01D53/04
代理机构 代理人
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