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发明名称 FABRICATION PROCESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100233190(B1) 申请公布日期 1999.12.01
申请号 KR19950035417 申请日期 1995.10.13
申请人 NIPPON ELECTRIC K.K. 发明人 HIROKANE, MUNEHIKO
分类号 H01L29/73;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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