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发明名称 CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR100233368(B1) 申请公布日期 1999.12.01
申请号 KR19950046672 申请日期 1995.12.05
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP.(NT&T);SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 OHSAWA, YOUCHI;WATANABE, SATOSHI;OIKAWA, KATSUYUKI;TANAKA, AKINOBU;KAWAI, YOSHIO;JIRO, NAKAMURA
分类号 C07C381/12;G03F7/004;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004;G03F7/26 主分类号 C07C381/12
代理机构 代理人
主权项
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