发明名称 EPITAXIAL GROWTH PROCESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100232170(B1) 申请公布日期 1999.12.01
申请号 KR19910000892 申请日期 1991.01.19
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 JEON, PYO-MAN
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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