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发明名称 METHOD AND APPARTUS FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100232664(B1) 申请公布日期 1999.12.01
申请号 KR19960031380 申请日期 1996.07.30
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 DOI, KENJI;KATAKABE, ICHIRO;MIYASHITA, NAOTO
分类号 H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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