发明名称 A CONTACT HOLE FORMATION METHOD OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR100231851(B1) 申请公布日期 1999.12.01
申请号 KR19930008833 申请日期 1993.05.21
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 JUNG, JIN-KI;SONN, KON;SUEL, YEOU-SONG
分类号 G03F7/00;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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