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发明名称 METHOD FOR IMPLANTING ION
摘要
申请公布号 JPH11329998(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980138850 申请日期 1998.05.20
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 ARAKI TOSHIYUKI
分类号 C23C14/02;C23C14/04;C23C14/48;H01L21/265;H01L21/266;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
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