| 发明名称 |
COATER AND COATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11329938(A) |
申请公布日期 |
1999.11.30 |
| 申请号 |
JP19980137019 |
申请日期 |
1998.05.19 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
TAKAMORI HIDEYUKI;ANAI NORIYUKI;NOMURA MASAFUMI;TATEYAMA KIYOHISA;OMORI TSUTAE |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C11/08;B05D1/40;G02F1/13;G02F1/1333;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027;G02F1/133 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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