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发明名称 ARTICLE MADE OF FLUORINATED DIAMOND-LIKE CARBON AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11330066(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19990065741 申请日期 1999.03.12
申请人 LUCENT TECHNOL INC 发明人 PAI CHIEN-SHING;ZHU WEI
分类号 C23C14/06;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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