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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE, MANUFACTURE THEREOF, AND TAPE CARRIER USED IN MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11330146(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980127020 申请日期 1998.05.11
申请人 HITACHI LTD;AKITA DENSHI KK 发明人 SAKURADA SHINICHI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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