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发明名称 VAPORIZER FOR LIQUID MATERIAL VAPORIZING/SUPPLYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11330061(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980142075 申请日期 1998.05.11
申请人 AERA JAPAN LTD 发明人 NAGANO KATSUHISA
分类号 B01J4/00;B01D1/00;C23C16/44;C23C16/448;F22B1/28;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
主权项
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