发明名称 |
MUTUAL INTERCONNECTION OF COPPER AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11330246(A) |
申请公布日期 |
1999.11.30 |
申请号 |
JP19990097400 |
申请日期 |
1999.04.05 |
申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
RABIURU ISURAM;ABGELINOS V GERATOS;KEVIN LUCAS;FILIPIAK STANLEY M;RAMUNAS BENKATORAMAN |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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