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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11330151(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980132307 申请日期 1998.05.14
申请人 NEC CORP 发明人 KAMIMURA TOSHIHIRO
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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