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发明名称 WET TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号 JPH11330027(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980128884 申请日期 1998.05.12
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KATAKABE ICHIRO;KAWAMOTO HIROSHI
分类号 B08B3/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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