| 发明名称 | 半导体器件测试仪器和用于该测试仪器的测试盘 | ||
| 摘要 | 一种IC测试器,能够减少完成对所有要测试的IC的测试需要的时间。恒温室(4)和退出室(5)的深度(在Y轴方向的长度),扩充了大致对应于矩形测试盘(3)的横边的长度(短边的长度),在从恒温室(4)中的保温室(41)经恒温室(4)中的测试部分(42)伸展到退出室(5)的通道的部分中,提供了两条基本平行的测试盘输送通道或者加宽的测试盘输送通道,能够沿着两条输送通道或加宽的测试盘输送通道同时输送两个测试盘,这两个测试盘在横过两条平行的测试盘输送通道的方向上并列安排。 | ||
| 申请公布号 | CN1237245A | 申请公布日期 | 1999.12.01 |
| 申请号 | CN98801238.3 | 申请日期 | 1998.07.02 |
| 申请人 | 株式会社爱德万测试 | 发明人 | 伊藤明彦;小林义仁;增尾芳幸;山下毅 |
| 分类号 | G01R31/26 | 主分类号 | G01R31/26 |
| 代理机构 | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人 | 马莹 |
| 主权项 | 1．一种类型的半导体器件测试仪器，其中装载在测试盘上的半导体器件被输送到测试部分，在所述测试部分中，装载在所述测试盘上的所述半导体器件被测试，在所述测试完成后，所述半导体器件被从所述测试部分中运载出来，接着根据测试结果被分类，其特征在于：提供了多个输送通道，用于将装载有半导体器件的测试盘输送到所述测试部分。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||