| 发明名称 |
GRINDING METHOD FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11330014(A) |
申请公布日期 |
1999.11.30 |
| 申请号 |
JP19960078734 |
申请日期 |
1996.04.01 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD;HITACHI LTD |
发明人 |
MATSUZAWA JUN;KURATA YASUSHI;TANNO KIYOHITO;HONMA YOSHIO |
| 分类号 |
C01F17/00;C09C1/68;H01L21/304;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
C01F17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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