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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11330458(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980125895 申请日期 1998.05.08
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OKUMURA HIDEKI
分类号 H01L21/331;H01L29/06;H01L29/423;H01L29/739;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
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