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发明名称 STAGE DEVICE AND METHOD FOR DRIVING THE SAME DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11329962(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19990057108 申请日期 1999.03.04
申请人 NIKON CORP 发明人 WATSON DOUGLAS C
分类号 H01L21/027;F16F7/10;F16F15/02;G03F7/20;G05B19/404;G12B5/00;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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