| 发明名称 |
Titanium sputtering target |
| 摘要 |
Described is a titanium sputtering target to provide improved step coverage and a method of making same.
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| 申请公布号 |
US5993621(A) |
申请公布日期 |
1999.11.30 |
| 申请号 |
US19970893892 |
申请日期 |
1997.07.11 |
| 申请人 |
JOHNSON MATTHEY ELECTRONICS, INC. |
发明人 |
LIU, YINSHI |
| 分类号 |
C22C14/00;C22F1/00;C22F1/18;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C22C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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