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发明名称
CAPACITOR OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH11330373(A)
申请公布日期
1999.11.30
申请号
JP19980131520
申请日期
1998.05.14
申请人
NIKON CORP
发明人
KAMASHITA ATSUSHI
分类号
H01L27/04;H01L21/265;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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