发明名称 CAPACITOR OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11330373(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980131520 申请日期 1998.05.14
申请人 NIKON CORP 发明人 KAMASHITA ATSUSHI
分类号 H01L27/04;H01L21/265;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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