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发明名称
CBD FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH11330100(A)
申请公布日期
1999.11.30
申请号
JP19980140544
申请日期
1998.05.07
申请人
HONDA MOTOR CO LTD
发明人
KOGA HIDENORI;FUTAMURA YUICHI
分类号
H01L21/368;(IPC1-7):H01L21/368
主分类号
H01L21/368
代理机构
代理人
主权项
地址
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