| 发明名称 |
HYDROGEN TREATMENT METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11330080(A) |
申请公布日期 |
1999.11.30 |
| 申请号 |
JP19980169090 |
申请日期 |
1998.05.13 |
| 申请人 |
JAMES W MITCHELL |
发明人 |
TAKAMATSU TOSHIYUKI;FUJIMURA SHUZO;OGAWA HIROTERU |
| 分类号 |
H01L21/324;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/324 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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