发明名称 METHOD AND DEVICE FOR CLEANING CONTAMINATED SURFACE USING CLUSTER BEAM HAVING ENERGY
摘要
申请公布号 JPH11330033(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980128704 申请日期 1998.05.12
申请人 FRASER SCIENT INC 发明人 JOHN F MAHONEY
分类号 B08B7/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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