发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11329969(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980135773 申请日期 1998.05.18
申请人 SHARP CORP 发明人 MAKITA NAOKI;MOTOHASHI MUNEYUKI;MORIGUCHI MASAO;SAKAMOTO HIROMI
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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