发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11329920(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980302821 申请日期 1998.10.23
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KANEKO MASARU
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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