发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11330224(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980137905 申请日期 1998.05.20
申请人 ROHM CO LTD 发明人 NAKAYA GORO
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址