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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11330457(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980125547 申请日期 1998.05.08
申请人 NEC CORP 发明人 OKUBO HIROAKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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