发明名称 EMBEDDING PATTERNIZED CONDUCTIVE PLANE FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT ON INSULATOR
摘要
申请公布号 JPH11330489(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19990077904 申请日期 1999.03.23
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 CHRISTENSEN TODD ALAN;SHEETS JOHN EDWARD II
分类号 H01L21/84;H01L23/52;H01L27/08;H01L27/12;H01L29/40;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/84
代理机构 代理人
主权项
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