| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11330143(A) |
申请公布日期 |
1999.11.30 |
| 申请号 |
JP19980130139 |
申请日期 |
1998.05.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KIKUCHI HIROSHI;SUMI YOSHIYUKI;YOSHIDA IKUO |
| 分类号 |
H05K1/18;H01L21/52;H01L21/60;H05K1/02;(IPC1-7):H01L21/60 |
主分类号 |
H05K1/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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