发明名称
摘要
申请公布号 JP2984778(B2) 申请公布日期 1999.11.29
申请号 JP19950064680 申请日期 1995.02.27
申请人 SUMITOMO SHICHITSUKUSU AMAGASAKI KK 发明人 OONISHI TAKASHI;YOSHIMURA YASUTOKU;OKAMOTO SETSUO
分类号 B21J1/04;B21J5/00;C22F1/00;C22F1/18;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 B21J1/04
代理机构 代理人
主权项
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