| 发明名称 |
ORGANIC METALLIC GASEOUS PHASE GROWING DEVICE AND METHOD THEREFOR USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11329980(A) |
申请公布日期 |
1999.11.30 |
| 申请号 |
JP19980138353 |
申请日期 |
1998.05.20 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
IKEDA MASAKIYO;HATTORI SATOSHI;NAKAI AKINOBU |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/205;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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