发明名称 METHOD FOR SORTING OF SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 JPH11329916(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980136838 申请日期 1998.05.19
申请人 SONY CORP 发明人 UCHIBORI NORIYUKI
分类号 H01L21/66;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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